В Китае первые EUV-сканеры будут установлены в 2019 году

Производством литографических EUV-сканеров занимается нидерландская компания ASML, сообщает «3Dnews».

В настоящий момент ASML поставила клиентам 14 опытных EUV-сканеров и располагает заказами на изготовление 21 новой установки.