Массовые сканеры диапазона DUV с длиной волны 193 нм тоже пользовались повышенным спросом, сообщает «3Dnews».
За 2017 год компания поставила 161 сканер DUV, что на 21% больше поставок 2016 года. Рост продаж сканеров в Китае вырос примерно на 20%. В 2018 году поставки в Китай продолжатся, заявки на которые компании ASML оставили пять крупных китайских производителей полупроводников.
ASML отмечает спрос на сканеры EUV
19 января 2018, 09:15
